プロセスフロー
工程名および○印をクリックすると、使用する装置の写真をご覧いただけます。
| 工程名 | 事 前 準 備 |
１ 日 目 |
２ 日 目 |
３ 日 目 |
４ 日 目 |
５ 日 目 |
６ 日 目 |
７ 日 目 |
８ 日 目 |
９ 日 目 |
１０ 日 目 |
１１ 日 目 |
１２ 日 目 |
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|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 前洗浄 | ○ | |||||||||||||||||||||||||
| 酸化前洗浄 | ○ | ○ | ○ | ○ | ||||||||||||||||||||||
| 酸化膜形成 | ○ | ○ | ○ | |||||||||||||||||||||||
| レジスト塗布 | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ||||||||||||
| プリベーク | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ||||||||||||
| 露光 | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ||||||||||||
| 現像 | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ||||||||||||
| ポストベーク | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ||||||||||||
| 酸化膜エッチング | ○ | ○ | ○ | ○ | ||||||||||||||||||||||
| シリコンエッチング | ○ | |||||||||||||||||||||||||
| P＋イオン注入 | ○ | ○ | ○ | |||||||||||||||||||||||
| B＋イオン注入 | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | |||||||||||||||||||||
| レジストアッシング | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ||||||||||||||||
| レジスト剥離 | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | |||||||||||||
| 保護酸化膜除去 | ○ | ○ | ||||||||||||||||||||||||
| 保護酸化膜形成 | ○ | |||||||||||||||||||||||||
| 窒化膜堆積 | ○ | |||||||||||||||||||||||||
| ドライブイン | ○ | |||||||||||||||||||||||||
| 窒化膜エッチング | ○ | ○ | ||||||||||||||||||||||||
| LOCOS（選択酸化） | ○ | |||||||||||||||||||||||||
| ポリシリコン堆積 | ○ | |||||||||||||||||||||||||
| ポリシリコンエッチング | ○ | |||||||||||||||||||||||||
| 層間絶縁膜堆積 | ○ | ○ | ○ | |||||||||||||||||||||||
| アニール | ○ | ○ | ||||||||||||||||||||||||
| スパッタ前洗浄 | ○ | |||||||||||||||||||||||||
| アルミスパッタ | ○ | ○ | ||||||||||||||||||||||||
| アルミエッチング | ○ | ○ | ||||||||||||||||||||||||
| シリコン残渣除去 | ○ | ○ | ||||||||||||||||||||||||
| 水ガラス塗布 | ○ | |||||||||||||||||||||||||
| 水ガラスベーク | ○ | |||||||||||||||||||||||||
| シンタリング | ○ | |||||||||||||||||||||||||
